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ウェハー用
| 製品名 | 用途 | EDTAフリー | 温度(℃) | 重量法析出速度(μm/15 min) | 特長 |
|---|---|---|---|---|---|
| エピタス PAN-25 | IGBT用無電解銅めっき | 〇 | 76 | 2 | 銅、アルミニウム、アルミニウム合金パッドに対応 |
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| 製品名 | 用途 | EDTAフリー | 温度(℃) | 重量法析出速度(μm/15 min) | 特長 |
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