テクニカルレポート79

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BRUKER製走査型白色干渉顕微鏡ContourGT－Xを用いた。測定によって得られた各樹脂基材のRaと新規プロセスと従来プロセスのピール強度の比較を図1に示す。測定の結果、Ra0.3µm程度の基材表面に対し、ABFGX92において約600gf/cm、ABFGX－T31において約500gf/cmと従来プロセスと同程度のピール強度が得られた。3.2Pd吸着量アルカップⓇMCAを用いた新規プロセスのPd吸着量の評価を行った。評価基材にはABFGX92、ABFGX－T31、電解銅箔積層板〔FR－4、日立化成（株）〕、処理工程アルカップⓇMDPを用いた従来プロセスアルカップⓇMCAを用いた新規プロセスデスミア（アップデスⓇ）膨潤MDS水洗○粗化MDE水洗○中和MDN水洗○乾燥○前処理（アルカップⓇ）クリーナーコンディショナーMSP－H湯洗○水洗○ソフトエッチングSPS/H2SO4水洗○酸洗H2SO4MCA/H2SO4水洗○プレディップMDP－－－アクチベーターMAT水洗○レデューサーMAB水洗○無電解銅めっきアクセレレーターMEL無電解銅めっきPEAV2水洗○乾燥○電気銅めっき酸性クリーナーMSC湯洗○水洗○酸洗H2SO4電気銅めっきETNorEVF水洗○乾燥○項目標準管理範囲アルカップⓇMCA10mL/L7～13mL/LH2SO4100g/L50～150g/L処理温度25℃20～30℃処理時間（浸漬時間）1分0.5～2分表1処理工程＊－－－：処理なし,○：湯洗,水洗または乾燥を実施表2アルカップⓇMCAの使用条件UYEMURATECHNICALREPORTSNo.79.2020酸洗添加剤「アルカップⓇMCA」を用いた微細配線対応無電解銅めっきプロセスの紹介27