〈めっき条件〉1008060402001050TPD－30（MW）TPD－35（MZ）TPD－30（MW）TPD－35（MZ）TPD－30（MW）TPD－35（MZ）TPD－30（MW）TPD－35（MZ）NPR－4NPR－4NPR－15NPR－15Failure mode（%）Pull strength（g）plated175℃ 16hrAverageAverageThin Ni ENEPIGThin Ni ENEPIGNi＝0.15μmPd＝0.1μmAu＝0.1μm:A:B:C:D:E1008060402001050TPD－30（MW）TPD－35（MZ）TPD－30（MW）TPD－35（MZ）TPD－30（MW）TPD－35（MZ）TPD－30（MW）TPD－35（MZ）NPR－4NPR－4NPR－15NPR－15Failure mode（%）Pull strength（g）plated175℃ 16hrENEPIGENEPIGNi＝6.0μmPd＝0.1μmAu＝0.1μm:A:B:C:D:E8.48.08.38.110.310.110.510.410.410.010.210.17.98.17.88.1PullpointABCDE3.3ワイヤーボンディング接続信頼性表6記載の条件にてワイヤーボンディング後、ワイヤープル試験を実施した。評価項目としてプル強度と破断モードを確認した。破断モードはワイヤーがどこで破断したか判定しており、モードごとに色分けした（図11）。めっき後の皮膜（plated）と熱処理後の皮膜（175℃高温条件において16時間処理）を試験した結果を図12に示す。NPR－15はNPR－4と同等の良好なワイヤーボンディング接続信頼性を有することを確認した。4まとめニムデンⓇNPR－15は、薄いNi膜厚であっても下地Cuを被覆できることが特徴であり、下地の被覆性が不十分な場合に発生するNi腐食を抑制することができるThinNiENEPIG工程の要求に即した無電解ニッケルめっき液である。無電解パラジウムめっき液を、被覆性に優れたアルタレアⓇTPD－35（MZ）と組み合わせることで、さらに高いはんだ接合信頼性とワイヤーボンディング接続信頼性を両立することができ、ThinNiENEPIG工程における信頼性をさらに高め、高品質なめっき皮膜の安定供給に貢献できる。ボンディング装置HB16（TPT/semi－autobonder）キャピラリーB1014－5－118－12（PECO）ワイヤー1.0mil－gold（GFC/田中貴金属）温度150℃1stボールボンディング時間200msec/荷重25gf/超音波250mW2ndステッチボンディング時間50msec/荷重50gf/超音波250mWステップ幅0.7mmワイヤープル試験機Dage4000（Nordson）プル速度170µm/sec表6ワイヤーボンディング試験条件図11ワイヤーボンディング破断モード図12ワイヤーボンディング試験評価結果24
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